測(cè)量薄膜硬度對(duì)于確定最佳薄膜制造參數(shù)并檢測(cè)其制造質(zhì)量非常重要，該設(shè)備可使用較小試驗(yàn)力，根據(jù)下壓深度，對(duì)硬度值進(jìn)行評(píng)價(jià)。島津DUH-211/211S動(dòng)態(tài)顯微硬度計(jì)可動(dòng)態(tài)測(cè)量硬度并評(píng)價(jià)塑性和彈性變形的硬度，另外，如果壓痕尺寸足以用顯微鏡觀察，則可通過(guò)測(cè)量壓痕的對(duì)角線長(zhǎng)度，來(lái)從塑性變形部分測(cè)得硬度。

       特點(diǎn)：

 

       具有精度良好的彈性率評(píng)價(jià)。

 

       0.1976mN的試驗(yàn)力分辨率

 

       0.1~1961mN的超寬試驗(yàn)力范圍

 

       采用高精度的壓入深度測(cè)定方法

 

       多種加載-卸載方式

 

       可以測(cè)定維氏硬度和努氏硬度

 

       通過(guò)選擇壓盤與壓縮軟件可以進(jìn)行微小載荷的壓縮測(cè)試。