X射線光電子能譜儀（X-ray PhotoelectronSpectroscopy, 縮寫XPS），它是利用X射線激發(fā)樣品表面元素的內(nèi)層能級(jí)電子信號(hào)，再用電子能譜儀檢測(cè)光電子的動(dòng)能及強(qiáng)度，進(jìn)而確定元素的種類及價(jià)態(tài)等信息。主要用于研究材料極表面的元素及元素不同價(jià)態(tài)組成�，F(xiàn)代X射線光電子能譜儀可以集成AES（俄歇電子能譜）、UPS（紫外光電子能譜）、ISS（離子散射譜）等功能，是島津最新型的AXIS Supra+型光電子能譜儀。

 

       X射線是X射線光電子能譜的激發(fā)源，X射線照射到固體樣品表面，宏觀上可能看不到樣品變化，但微觀上已經(jīng)發(fā)生改變。光電效應(yīng)就是微觀變化的其中之一。光電子的由來(lái)需要從材料的基本組成單元——原子進(jìn)行談起。

 

       X射線光電子能譜儀一般由X射線源、電子能量分析器、電子探測(cè)器和數(shù)據(jù)系統(tǒng)，以及其他附件構(gòu)成。除了數(shù)據(jù)系統(tǒng)外，其他部件都要在超高真空下(10-8~10-10torr)運(yùn)行。原因在于，在超高真空下光電子可以避免與殘余氣體分子發(fā)生碰撞損失，另一方面樣品表面也可以避免吸附殘余氣體分子而影響樣品結(jié)果。X光源激發(fā)到樣品上，樣品表面的電子被激發(fā)出來(lái)，經(jīng)過(guò)傳輸透鏡。此后通過(guò)電子能量分析器對(duì)光電子的動(dòng)能進(jìn)行分辨，再通過(guò)電子探測(cè)器對(duì)電子進(jìn)行計(jì)數(shù)。最后到達(dá)數(shù)據(jù)系統(tǒng)進(jìn)行分析，就可以呈現(xiàn)出最終的X射線光電子能譜。